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【开题报告】玻璃基微管道制备仪控制系统设计

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随着半导体工业和微电子机械系统的迅速发展,出现了各式各样的大规模的集成电路,电子器件的集成度飞速发展。微电子技术蓬勃发展,使得微机械技术也得到了相应的发展,例如对微尺度下一些机械的控制与检测。微流体技术主要的关注点在于系统的构建,强调系统整体的功能,而微电子技术主要强调的是构成器件的尺寸的微小,主要指利用现有的技术制造出尺寸微小的器件,为构成微流体系统做准备。微通道是微流体系统中的重要构件之一,虽然微通道的尺寸比其他的微器件大,但是对于整个系统来说已经非常小了;更多范文
机械电子工程专业开题
微通道的加工材料和加工方法各异,也逐渐趋于成熟。就微通道的加工材料就有很多种,如硅片、玻璃等,每种材料也具有不同的优点与性质。玻璃具有良好的光学性质,就有机玻璃来说,其机械强度高,易于加工,而且透光率高,可以达到百分之九十几,而且玻璃的表面处理较为简单,且处理后玻璃其他地方不会被破坏。现有的玻璃基微管道制备仪能够提高玻璃基微管道制备效率,但是微流体流动将会出现宏观流动没有出现过的现象,而且宏观流动中可以忽略的因素在微流动中表现的更加明显,甚至占主导作用,例如表面张力效应、壁面粗糙度效应等。

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